出色的重复性和再现性

(1)单拱龙门式设计，结构稳定性优异，大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度；
(2)线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

超微力恒力传感器：0.5-50mg可调

独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。

超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。