主要特性
表面微观特征是材料、化学、精密制造等领域的主要研究内容，准确地评价表面微观形貌、表面特征等，对于相关材料的评定、性能的分析和加工工艺的改善都具有重要意义。
在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域，表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值，尤其是台阶高度是一个重要的参数，对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制，是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。
出色的重复性和再现性
(1)单拱龙门式设计，结构稳定性优异，大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度；
(2)线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
超微力恒力传感器：0.5-50mg可调
独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。
超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。
全自动XY载物台，Z轴自动升降、360°全自动θ转台
精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整，提高测量效率。
2026/10/28
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2026/10/28
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2026/10/21
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