混合键合检测与计量挑战：先进封装中的缺陷分析与工艺控制
随着先进封装向Chiplet、3D集成和高密度互连发展，混合键合（Hybrid Bonding）正在成为重要的封装互连技术。与传统焊料凸点互连不同，混合键合直接实现Cu-Cu和介质-介质连接，可以提高互连密度，并降低互连结构中的寄生参数。F ...
椭偏仪测量ITO薄膜光学常数与SiO₂缓冲层厚度分布
铟锡氧化物（In₂O₃–SnO₂，ITO）作为透明导电氧化物，半个多世纪以来一直是显示器、光伏、光电子器件等领域的工业和实验室标准材料。ITO薄膜厚度直接影响其光学和电学性质。一项研究表明膜厚从75 nm增至325 nm时，电阻率 ...
一文看懂WO₃薄膜厚度如何影响调光玻璃性能
建筑门窗隔热不行，平白耗掉大量采暖和制冷的能源。电致变色智能窗（调光玻璃）能在透明和不透明之间来回切换，靠调节进到室内的太阳热和光线来省能，这几年很受关注。WO₃ 是这类窗的核心变色材料，器件表现好不好， ...
光谱椭偏仪在真空镀膜膜厚在线监测中的应用
真空镀膜在半导体与光学器件制造中应用广泛，镀后膜厚均匀性直接决定镀层寿命与器件性能。实际溅射中，单阴极靶材在基片上方形成的沉积速率场天然不均匀：正对靶心处速率高、边缘处低，若基片静止便会沉积出中间厚、 ...
台阶仪监控3D集成金属接触刻蚀：三步法实现稳定氮化层停止
三维集成靠垂直堆叠多层结构来提密度、提性能，但传统180nm逻辑工艺（L180）的接触刻蚀方案拿来刻三维集成的ONONO层间介质叠层行不通。主要毛病：停止余量不够、底部选择比掉、晶圆位置相关CD偏差大、叠层结构对不上。本 ...
氮化硅（SiNx）薄膜的制备与椭偏仪性能表征
氮化硅（SiNx）薄膜因为高硬度、高透光、化学稳定且折射率可调，在光电、集成电路和太阳能电池里都用得很广。光伏电池表面那层SiNx，既是增透膜也是表面钝化层，转换效率能明显提上来。减反膜的关键在折射率：它直接管 ...
ITO薄膜与复合膜制备：台阶仪测厚及表面粗糙度表征
透明导电氧化物（TCO）薄膜在液晶显示、触摸屏和光伏器件里当透明电极，透过率得高、电阻还得低。ITO（氧化铟锡）透光导电俱佳、硬度高、耐磨、化学稳定，是目前用量最大的 TCO 材料。但铟（In）储量有限、原料昂贵，传 ...
蒸发镀膜设备改造提升膜厚均匀性，椭偏仪检测验证均匀性<1%
半导体光学制程中，薄膜沉积厚度与折射率的表面均匀性直接决定器件功能与效率。传统旋转球面蒸发系统因蒸发源至球面基板各点距离不等，中心厚、边缘薄，镀膜均匀性长期徘徊于2%—5%，须借助MASK挡板反复修正，工艺繁琐 ...
台阶仪在PZT薄膜表征全流程实操
Pb(Zr0.52Ti0.48)O3（PZT 52/48）落在三方相与四方相的准同型相界上，介电、压电和铁电性能在这里都出峰值，拿来做存储器、探测传感器这类器件很有潜力，跟半导体微电器件集成也是当前的方向。溅射法跟半导体工艺完全兼容，膜 ...
椭偏应用 | AR光波导用高折射率元件UV固化制备与椭偏表征
AR技术近年快速扩张，消费电子、工业培训、医疗等领域都在推着它往前走，对高折射率光学元件的需求越来越迫切，折射率越高，器件越紧凑，视场角越大，沉浸感越强。金属氧化物（ZrO₂、TiO₂、Nb₂O₅等）折射率高、透光 ...
增材制造零件表面粗糙度测量：台阶仪 vs. 白光干涉仪 vs. 显微镜 vs. XCT
增材制造，尤其是激光粉末床熔融，让复杂零件的制造有了新办法，但"逐层累加"的工艺也带来了特有的粗糙表面。这种表面带有部分熔融颗粒、球化效应等特征，正是疲劳裂纹容易萌生的地方。要准确评估零件性能，表 ...
薄膜厚度测量方法对比：椭偏仪 vs. 反射仪，10nm–2000nm实测数据
本研究用光谱椭偏仪（SE）和反射仪对 Si 衬底上的 SiO₂ 和 Al₂O₃ 薄膜做了比对测量，膜厚覆盖 10 nm 到 2000 nm，附带了六分量的不确定度预算。两种方法在所有样品上结果一致，偏差都在各自的不确定度范围内。椭偏仪在薄层 ...
直流磁控溅射铜薄膜生长控制：厚度、粗糙度、晶粒与电阻率关系研究
铜薄膜作为光伏电池电极层，其表面形貌直接影响器件的光电转换效率。在光伏器件中，电极层表面并非越平整越好，适度的形貌扰动可以增大有效吸收面积、延长光程，从而提高转换效率。然而，磁控溅射过程中膜厚如何系统 ...
光谱椭偏仪分析AgTa薄膜：磁控溅射制备、光学常数及600°C红外反射率保持
高温太阳能选择性吸收涂层中的红外反射层常用银（Ag）薄膜，因其红外反射率可达98%以上。但纯Ag熔点较低，超过400℃时容易发生团聚，导致反射性能下降。费曼仪器（Flexfilm）全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的 ...
磁控溅射镀膜技术综述
磁控溅射是制备各类功能薄膜的核心技术之一，广泛应用于节能玻璃、半导体器件、光学元件、太阳能电池、手机外壳、工模具及耐磨零部件等领域。随着高端制造业和应用需求的不断升级，该技术在靶结构、电源配置和工艺控 ...
名字 *
公司
职称
电子邮件 *
电话号码 *
城市 *
国家
请选择产品
我有兴趣接受有关以下内容的信息 *
我的留言
