ALD进入高深宽比时代：纳米级薄膜厚度到底怎么测？
原子层沉积（ALD）是先进微电子制造的关键使能技术。它把两种或多种气态前驱体交替通入反应腔，靠自限制的表面反应，在每半个循环里只完成一层化学吸附。反应位点被占满后反应自动停止，前驱体多通一点也不会多长，膜 ...
台阶仪在Ti掺杂Cu3SbSe4薄膜热电性能中的应用：膜厚与粗糙度表征
热电材料可实现热能与电能的相互转换，量纲为一的热电优值（ZT 值）是衡量转换效率的核心指标。铜锑硒（Cu₃SbSe₄）属于 p 型半导体，理论 ZT 值可达 1.26，禁带宽度 0.29 eV，制备成本低于碲化铋且不含剧毒元素，在薄膜太阳 ...
探针式台阶仪为什么能够用于半导体薄膜厚度和沉积速率测量
半导体器件进入纳米尺度后，纳米级台阶高度成为量测设备量值溯源的基础量。台阶仪凭借远大于原子力显微镜（AFM）的扫描范围，以及对样品污染不敏感的特点，在此类量测中被广泛使用，代价是其读数同时包含低频漂移与高 ...
抑制背面反射以提升4H-SiC超薄SiO₂层光谱椭偏测量精度
4H-SiC 器件中的超薄SiO₂层承担栅介质与表面预处理层两类功能,膜厚直接决定器件效率与长期稳定性。SiC的电学与热学性能使其成为高功率、高频与高温应用的首选材料,超薄氧化层的测量精度因此成为工艺链上的硬指标。光谱反 ...
先进刻蚀的量测主线：台阶仪 VS. AFM
一片300 mm晶圆完成硅通孔（TSV）刻蚀后，刻深、片内均匀性、侧壁形貌都要给出读数。难在三个量的尺度差得太远：深度是宏观量，均匀性按百分比考核；侧壁粗糙度已在纳米量级，逐周期刻蚀量更是逼近原子尺度。量程拉得这 ...
椭偏仪监控单源热ALD生长HfSiOx高k介质薄膜：k=9.1，CET=2.9 nm
晶体管持续缩微，栅氧化层厚度随之减薄，传统SiO₂因量子隧穿效应导致漏电流急剧上升，功耗与可靠性问题日益突出。采用高k材料替代成为必然，HfO₂虽已广泛使用，但其界面不稳定性和氧空位缺陷制约了长期可靠性。HfSiOₓ ...
台阶仪在InGaAs单光子探测器微透镜阵列表征中的应用
InGaAs单光子探测器工作在0.9～1.7 μm波段，单个光子的能量变化也分辨得出，灵敏度高、体积小、全固态，天文、生物医学、军事、制造都在用。它有个绕不开的结构短板：芯片上的光敏面只占像素的一小块，落在光敏区外的红 ...
漂移阶跃恢复二极管DSRD原理与台阶终端结构优化
DSRD 是基于漂移阶跃恢复效应的纳秒级断路型开关。正向泵浦后，通过反向抽取耗尽基区存储等离子体，在反向恢复末期快速截断电流，把电感储能在亚纳秒至数纳秒内转移到负载，形成高幅值、高 dv/dt 的电压脉冲。Flexfilm费曼 ...
椭偏仪入门到进阶：二维材料介电函数测量全解析
二维材料在单层形态下展现出与体材料迥异的性质。TMDs 中的 MoS₂、WS₂ 从体相间接带隙变成单层直接带隙，光学与输运特性随之大变，成为下一代光电子器件的热门候选。理解这类材料的光学行为，落脚点是复介电函数 ε(ω) ...
硅晶圆翘曲与残余应力识别：台阶仪单面测量，免双面检测
半导体制造中，晶圆直径增大、厚度减薄使残余应力和自重挠度的影响日益突出，二者的可靠量化直接关系到尺寸稳定性和良率。要测翘曲，常规做法是双面轮廓测量加机械翻转，即三点支撑翻转法。这条路结果可靠，代价是设 ...
薄膜厚度与成分实时可控：椭偏仪原位监控MBE拓扑绝缘体生长
(BixIn1-x)2Se3等拓扑绝缘体材料因其在量子计算与自旋电子学领域的应用前景而备受关注，其物理性质高度依赖于薄膜的精确化学组分和厚度。然而，MBE等主流薄膜生长技术缺乏能同时实时反馈这两种参数的监控手段，传统方法如R ...
柔性WO₃薄膜的磁控溅射制备：Li+ 掺杂量对电致变色性能的影响
可穿戴柔性器件需要可弯折、快响应的光调制器。WO₃是最成熟的阴极电致变色材料，但柔性器件界面稳定性差、循环寿命短、响应慢。磁控溅射成膜结合力强、室温速率高，适合 ITO/PET 柔性衬底。元素掺杂里，Li+ 能提升离子电 ...
智能调光玻璃：技术路线、性能对比与工艺检测
单车玻璃面积从上世纪五十年代的2.2平方米增至2020年的4.2平方米，业内预计2030年将达6平方米；单车玻璃价值量相应从861元升至2500元。全景天幕的普及，使"头顶的这块玻璃如何管理阳光"从造型设计问题转变为系统性的 ...
磁控溅射AZO薄膜：台阶仪测厚与性能表征
薄膜材料在半导体、光电子、新能源这些领域已经离不开了。工业上制备薄膜的方法很多，磁控溅射属于物理气相沉积（PVD）里很成熟的一条路线。Flexfilm费曼仪器探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定 ...
光谱椭偏仪光波导测厚｜Ta₂O₅多层膜折射率
空间光通信、核电站这类极端环境，对光子集成器件的可靠性要求非常苛刻。传统硅基波导抗辐照能力弱、化学稳定性差，撞上强辐照和高腐蚀就明显退化。费曼仪器（Flexfilm）全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的 ...
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