薄膜均匀性检测

快速在线测量大面积样品的透射率，并统计均匀性，给出mapping图，方便产线人员使用，无需切割样品

高效率与自动化​

大面积扫描（如0.6m×1.2m基板）可在秒级完成，远快于单点光谱仪，适合高速产线（如卷对卷工艺），配合自动化系统实现实时分拣或报警。

非接触无损检测

避免接触式测量（如探针）对样品薄膜的损伤，尤其适合柔性衬底或刚镀膜的湿膜检测。

数据集成与追溯

与MES（制造执行系统）联动，存储每片基板的透过率分布图，建立工艺-性能数据库，辅助良率分析和工艺改进。