主要特性
对样品进行无损、快速、高精度测量，可用于反射率、透射率、膜厚等参数测量。广泛应用于光学镀膜、半导体薄膜、液晶显示、薄膜层和生物医学等厚度的测量方案中。
▪ 光学干涉方式，无损测量
▪ Mapping成像模式，轻松表征材料膜厚的均一性
▪ 多类解析算法，可精准和估算测量，满足不同测量需要
▪ 软件简洁，测量一键操作，简单易用
FlexFilm自动膜厚仪可方便的搭建各种光谱实验平台，实现对各种材料的光学特性、膜厚、材料的反射率、透过率等光谱特性的测试和分析实验。仪器配备专业测试软件，操作简单，符合国际化要求。
Mapping成像模式
FlexFilm自动膜厚测试系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。测绘图案可以是极坐标、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。
系统优势
●可测膜厚1um-100um
●二轴带运动补偿的电机平台，X120mm, Y120mm,精度1um或者可选 X1000mm, Y1000，精度5um
●支持mapping扫描，可成像，可对区域内的膜厚进行梯度成像
2025/06/26
技术支持：180-1566-6117在半导体和显示器件制造中，薄膜与基底的厚度精度直接影响器件性能。现有的测量技术包括光谱椭偏仪（SE）和光谱反射仪（SR）
2025/06/19
薄膜结构在半导体制造中扮演着至关重要的角色，广泛应用于微电子器件、光学涂层、传感器等领域。随着半导体技术的不断进步，对薄膜结构的检测
