纳米薄膜结构在半导体工业和光学器件制备中应用极其广泛，而薄膜厚度是其性能的主要影响因素之一，因此，对薄膜结构的厚度进行快速、准确地测量十分重要。FlexFilm单点膜厚测试系统是一款专门对微纳米尺度薄膜厚度进行无损、非接触测量的光学设备，具有结构紧凑、操作简单、测量时间短等优点。

2000小时超长使用寿命

FlexFilm单点膜厚测试系统采用进口卤钨灯，它具有输出稳定，出射波长范围宽（380-3000nm）的特点，满足工作波段为 380-1020nm 的测量需求。此外，它的平均寿命可达 2000 小时。同时，增加了波形滤波片，使得光强分布更为均匀。

测控与分析软件

●光谱测量能力：反射率透过率光谱测量
●数据分析能力：膜厚分析能力，光学常数（折射率和消光系数）
●支持常用光学常数模型以及常用振子模型